無限直線運動：特殊環境 スパッタ飛散

側面シールの外側に取り付け、トラックレールに付着した大きな異物を除去します。

トラックレール取付穴を埋栓でふさぐことにより、スライドユニット内への異物の侵入を防ぎます。

トラックレール上面に溝をもうけた専用トラックレールに、鋼板と接着テープにより構成されているカバーテープを貼り付けることにより、スライドユニット内への異物侵入を防ぎます。

黒色の浸透性クロム皮膜処理後、ふっ素樹脂をコーティングして、更に防せい能力を向上させます。また、表面への異物の付着もしにくくなります。

側板をステンレス鋼製に変更します。