製品情報 メカトロシリーズ
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メカトロシリーズは、精密加工技術とエレクトロニクスの融合により生まれた製品です。ベッドとスライドテーブルの間に直動シリーズとボールねじやモータを組み込んだ精密位置決めテーブルは、モジュールタイプから高精密タイプまでを幅広くラインナップ。半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置、各種精密機器などの位置決め機構として、幅広い分野で活躍しています。位置決めテーブルや制御用の電装装置まで一括して提供することにより、設計・組立工数などの削減に貢献しています。
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ボールねじ駆動タイプ 精密位置決めテーブルTU
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ボールねじ駆動タイプ 精密位置決めテーブルTE
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ボールねじ駆動タイプ クリーン精密位置決めテーブルTC
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ボールねじ駆動タイプ マイクロ精密位置決めテーブルTM
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ボールねじ駆動タイプ 精密位置決めテーブルTS・CT
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ボールねじ駆動タイプ 精密位置決めテーブルL
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ボールねじ駆動タイプ 精密位置決めテーブルLH
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ボールねじ駆動タイプ 高精密位置決めテーブルTX
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ボールねじ駆動タイプ アライメントテーブルAT
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ボールねじ駆動タイプ アライメントモジュールAM
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ボールねじ駆動タイプ パラレルドライブステージ™PD・・・S
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ウォームギア駆動タイプ 回転ステージSK・・・W
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ボールねじ駆動タイプ 精密昇降テーブルTZ
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リニアモータ駆動タイプ ナノリニア®NT・・・V
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リニアモータ駆動タイプ ナノリニア®NT・・・H
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リニアモータ駆動タイプ ナノリニア®NT・・・XZ
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リニアモータ駆動タイプ ナノリニア®NT・・・XZH
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リニアモータ駆動タイプ リニアモータテーブルLT
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リニアモータ駆動タイプ アライメントステージSA
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タイミングベルト駆動タイプ 精密位置決めテーブルLB