メカトロシリーズ パラレルドライブステージPD･･･S

メカトロシリーズ パラレルドライブステージPD･･･S

パラレルドライブステージ PD…Sは、2軸並列に配置したボールねじアクチュエータの直線運動をXY運動に変換する機構を備えることで低断面化を実現した、IKO独自の精密位置決めXYステージです。 従来の一軸アクチュエータを積み重ねたXYステージとは異なり、ステージ周辺に可動するモータやケーブル類が無いため、外部からステージ上へのアクセスも行いやすく、作業エリアを限定しない自由度の高い装置設計が可能です。 直線案内部にはメンテナンスフリーシリーズのCルーブリニアウェイを採用。コンパクトで耐久性にも優れたステージです。