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産業分野から探す 半導体・液晶製造装置

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パソコンやスマートフォンの普及率は70%を超え、家電製品などのIoT化も現実のものになってきました。こうした機器類になくてはならないのが半導体です。半導体は現在でも進化を重ねており、微細化・高集積化・省電力化はさらに進んでいます。

情報と人を結ぶ液晶ディスプレイも同様で、新しい素子や表示方式等の開発により、さらなる高画質・低費電力・薄型・軽量の方向に向かっています。このため、半導体や液晶を製造する装置に使用される軸受および直動案内機器に求められる高剛性、高精度、高速性、耐熱性、耐食性、低発塵性などの要求性能は、年々厳しくなっています。

半導体・液晶製造装置

液晶ガラス用立体搬送粗切ライン

半導体・液晶製造装置 液晶ガラス用立体搬送粗切ライン

液晶ガラス用立体搬送粗切ラインは、液晶ディスプレイに使用されるガラス基板を、けがき・割り・検査などの工程に搬送する装置です。ループ式の搬送テーブルを使用することで、生産量が大幅に向上しています。液晶ガラスをスムースに乗り移らせるため、直動案内機器には高剛性と、高い取り付け精度が要求されています。

リンク式ガラス基板搬送ロボット

半導体・液晶製造装置 ガラス基板搬送ロボット

ガラス基板搬送ロボットは、液晶をはじめとするフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を製造や検査工程に搬送する多関節ロボットです。各関節部にモータを組み込む従来型に比べ、アーム重量とモータ使用点数が削減されています。その分、支点を担う軸受には高い負荷容量と剛性が求められます。



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