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정밀위치결정테이블 시리즈

IKO 나노리니어 NT...H

IKO 나노리니어 NT...H

IKO나노 리니어는 강제의 가동 테이블 부분에 마그넷과 광학식 리니어 엔코더용 스케일, 강제 베드에 고정자 코일, 리니어 엔코더 용 베드 등을 배치한 무빙 마그넷 방식의 리니어 모터 테이블 입니다.
테이블 안내부에는 소형 직동안내기기 분야에서 정평이 있는IKO 크로스롤러웨이를 사용하고 리니어 모터와 고분해능 리니어 엔코더를 조합시켜 더욱 고정밀도인 위치결정이 실현됩니다.
고성능 네오디늄 자석을 채용해서 보다 큰 추력을 얻을 수 있기 때문에 매우 작지만 고속, 고응답인 위치결정이 가능합니다. 또한, 케이블 없이 획기적인 구동방식을 채용해서 기계적으로 접촉하는 부분은 LM 가이드 뿐이기 때문에 높은 클린도를 실현합니다.
나노 리니어는 반도체, 액정관련제조장치나 크리린 환경이 요구되는 검사장치나 전자부품 조합장치등의 콤팩트한 위치결정기구로서 최적입니다.

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제품 특징

우수한 위치 재현성
테이블내부에 롤러 타입의 「락&피니언 내장형 크로스 롤러웨이」를 채용해서 높은 강성과 공기정압 베어링에 부디치는 파동없는 작동을 실현합니다. 이동에 의한 자세의 변화가 극히 작아서 위치재현성에 우수합니다.
1μm이하의 위치결정 정도와 주행직진도를 실현
구성부품 모두의 정도를 철저히 추구, 정밀하게 조합하는 것으로 1μm이하의 위치결정정도와 주행 직진도를 실현합니다.
높은 속도 안정성
극히 부드러운 작동의 「락&피니언 내장형 크로스 롤러웨이」, 코어레스 무빙 마그넷 타입의 리니어 모터, 고성능 서브 드라이버 조합에 의해 높은 속도 안정성을 실현 합니다.
(10mm/s이동시 , ±1% 이하)

나노리니어 NT88H의 기본 사양

형식 고정밀도 타입 NT…H
NT88H25 NT88H65
형식 및 크기
단면 형상
최대 추진력 N 25
25
정격 추진력 N
5 5
최대 운반 가능 질량 kg 5 5
유효 스트로크 길이 mm 25 65
분해능 μm 0.01 0.05 0.01 0.05
최고 속도 mm/s 90 400 90 400
반복 위치결정 정밀도 μm ±0.1 ±0.1
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