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精密定位工作台系列

IKO 精密升降台TZ TZ/TZ...H/TZ...X

IKO 精密升降台TZ TZ/TZ...H/TZ...X

IKO精密升降台TZ是利用楔型机构进行上下方向精密定位的升降型精密定位工作台。楔型机构是充分利用在各种产业机械中业绩出色的IKO直线导轨技术,在紧凑的小型机构上实现了高精度和刚性。最适合使用于需要高精度的半导体、液晶制造装置和光学方面的装置。

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IKO也有未录入产品目录的产品。另外,可根据客户的需求来开发新产品。如有需求欢迎咨询。

产品特长

高精度・高刚性
楔形机构的导向部并列配置2根圆柱滚子式C-Lube自润滑圆柱滚子直线导轨超级X,实现了高精度定位和更高一档的刚性。
高定位精度
由光学性线性编码器进行全闭环控制,实现了更高的定位精度。
免维护
直线导向装置和滚珠丝杠都内置润滑零件C-Lube,实现了长时间免维护。
2种减速比,产品系列化
楔形减速比有1:2和1:4两种,产品系列化,用户可根据用途选择行程长度和分解能。且可以实现上下方向最大行程24mm的精确定位。
标准装备传感器
标准装备限位传感器、原点和原点前传感器。传感器内置于主体内部,便于安装到机械和设备上。

产品阵容

型号 工作台大小
[mm]
导向形式 楔形减速比 行程长度
[mm]
TZ 120-2 □120 滚珠型 1:2 10
TZ 120-4 1:4 5
TZ 120X-2 圆柱滚子型 1:2 10
TZ 120X-4 1:4 5
TZ 200H-2 □200 滚珠型 1:2 24
TZ 200H-4 1:4 12
TZ 200X-2 圆柱滚子型 1:2 24
TZ 200X-4 1:4 12
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