精密定位工作台系列 精密升降台TZ

IKO精密升降台TZ是利用楔型机构进行上下方向精密定位的升降型精密定位工作台。楔型机构是充分利用在各种产业机械中业绩出色的IKO直线导轨技术，在紧凑的小型机构上实现了高精度和刚性。最适合使用于需要高精度的半导体、液晶制造装置和光学方面的装置。