精密定位工作台系列 洁净室用精密定位工作台TC

IKO清洁精密定位工作台TC･･･E是最适合在半导体及液晶相关制造装置等要求高洁净度的环境下使用的定位工作台。采用独有的高气密结构，将驱动部分和滑台导向部分密封，可防止工作台周围起尘。IKO清洁精密定位工作台TC･･･E通过采用提高工作台内部密闭性的结构，实现了洁净度等级3。