精密定位工作台系列 角度定位工作台SA
精密定位工作台系列 角度定位工作台SA
SA･･DE
IKO校准工作台SA･･･DE在直线导轨部使用IKO C套筒直线导轨L，在旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，在驱动部采用直接驱动方式，是实现了XYθ运动的低截面紧凑型校准工作台。产品详情页请点击这里 校准工作台SA･･･DE通过组合高分辨率线性光栅尺和全闭环控制，实现了没有背隙的高精度定位动作。包括半导体及液晶相关制造装置在内，最适合作为基于图像处理的定位处理、要求清洁环境的测量仪和检查装置等设备的定位机构。
