精密定位工作台系列 纳米直线电机NT･･･XZ

精密定位工作台系列 纳米直线电机NT･･･XZ

IKO纳米直线电机NT在钢制可动工作台部配置了磁铁和光学式线性编码器用光栅尺，在钢制底座上配置了定子线圈、线性编码器用读取头等，是磁动方式的直线电机工作台。工作台的导向部采用小型直线导轨领域评价颇高的IKO直线导轨，通过搭配直线电机和高分解能线性编码器，实现了高精度定位。通过采用高性能钕磁石，可获得大推力，虽然是极小型，也可实现高速、高响应性定位。而且通过采用没有电缆的划时代驱动方式，机械接触部分只有直线导轨，实现了高洁净度。纳米直线电机NT最适合用作半导体及液晶相关制造装置、需要洁净环境的检查装置和电子零件组装装置等设备的紧凑型定位机构。