메카트로닉스 시리즈 병렬 드라이브 스테이지 PD･･･S

병렬 드라이브 스테이지 PD･･･S는 2축 병렬로 배치한 볼스크류 액츄에이터의 직선 운동을 XY 운동으로 변환하는 기구를 장착하여 저단면화를 구현한 IKO의 독자적인 정밀 위치 결정 XY 스테이지입니다. 기존 1축 액츄에이터를 적층한 XY 스테이지와 달리, 스테이지 주변에 가동하는 모터나 케이블 등이 없으므로 외부에서 스테이지상으로의 액세스도 실행하기 쉬워서, 작업 공간에 구애받지 않는 자유도가 높은 장치 설계가 가능합니다. 직선 안내부는 메인터넌스프리 시리즈인 C루브 리니어웨이를 적용한, 콤팩트하고 내구성도 우수한 스테이지입니다.