메카트로닉스 시리즈 얼라이먼트 모듈 AM
메카트로닉스 시리즈 얼라이먼트 모듈 AM
AM
IKO 얼라이먼트 모듈 AM은 정밀 위치 결정 테이블 TU와 고강성 크로스롤러베어링, 리니어웨이를 조합하여, 얼라이먼트 스테이지용으로 개발된 위치 결정 모듈입니다. 높이 치수의 허용차를 ±10μm로 고정밀도 관리하므로 각 얼라이먼트 모듈의 높이를 조정하지 않고도 얼라이먼트 스테이지 구성이 가능합니다.
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