메카트로닉스 시리즈 얼라이먼트 스테이지 SA
메카트로닉스 시리즈 얼라이먼트 스테이지 SA
SA･･DE
IKO 얼라이먼트 스테이지 SA...DE는 직동안내부에 IKO C 슬리브 리니어웨이 L, 회전 안내부에 IKO 크로스롤러베어링을 사용하고, 구동부에 다이렉트 드라이브 방식을 채택한 저단면 콤팩트 XYθ 운동을 실현하는 얼라이먼트 스테이지입니다. 제품 상세 페이지는 여기를 클릭 얼라이먼트 스테이지 SA...DE는 고분해능 리니어 스케일과 풀 크로즈드 루프 제어의 조합에 의해 백레쉬가 없는 고정밀 위치 결정 동작을 실현합니다. 반도체 및 액정 관련 제조 장치 등 화상 처리를 이용한 얼라이언트 처리나 클린 환경이 요구되는 측정기나 검사 장치 등의 위치 결정 기구로 아주 적합합니다.
