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直動案内機器:メカトロシリーズ

IKO ナノリニア®NT…H

IKO ナノリニア®NT…H

IKOナノリニアは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、ムービングマグネット方式のリニアモータテーブルです。
テーブルの案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のある IKO クロスローラウェイを使用し、リニアモータと高分解能リニアエンコーダの組合せにより高精度な位置決めを実現します。
高性能ネオジム磁石の採用により大きな推力が得られるため、極めて小形でありながら高速・高応答な位置決めが可能です。またケーブルのない画期的な駆動方式の採用により、機械的接触部分は直動案内機器のみなので、高いクリーン度を実現します。
ナノリニアは、半導体・液晶関連製造装置やクリーン環境が要求される検査装置や電子部品組立装置などのコンパクトな位置決め機構として最適です。

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カタログに掲載のない製品もございます。また、お客様のご要望に合わせ開発もいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。

製品特長

優れた位置再現性
テーブル案内部にローラタイプの『ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイ』を採用することで、高い剛性と空気静圧軸受にせまる脈動のない作動を実現。移動による姿勢の変化が極めて少なく、位置再現性に優れています。
1μm以下の位置決め精度と走行真直度を実現
構成部品すべての精度を徹底的に追求、精密に組み上げることで、1μm以下の位置決め精度と走行真直度を実現します。
高い速度安定性
極めて滑らかな作動の『ラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイ』、コアレスムービングマグネットタイプのリニアモータ、高性能サーボドライバの組合せにより、高い速度安定性を実現します。(10mm/s移動時、±1%以下)

ナノリニアNT88Hの基本仕様

形式 高精度タイプ NT…H
NT88H25 NT88H65
形式と大きさ

断面形状

最大推力 N 25
25
定格推力 N
5 5
最大可搬質量 kg 5 5
有効ストローク長さ mm
25 65
分解能 μm 0.01 0.05 0.01 0.05
最高速度 mm/s
90 400 90 400
繰返し位置決め精度 μm ±0.1 ±0.1
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