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정밀위치결정테이블 시리즈

IKO 클린룸 정밀위치결정테이블 TC...E

IKO 클린룸 정밀위치결정테이블 TC...E

IKO클린정밀위치결정테이블TC…E는, 반도체・액정관련제조장치 등 높은클린도가 요구되는 환경에서의 사용에 최적한 위치결정테이블입니다.
독자적인 고밀폐 구조에 의한 구동부분이나 슬라이드 테이블의 안내부분을 밀봉하여 테이블 주변의 발진을 방지합니다
IKO클린정밀위치결정테이블TC…E는 테이블 내부의 밀폐성을 높힌 구조로클린도 등급3 (ISO class 3)을 실현하고 있습니다.

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제품 특징

IKO C루브・메인터넌스 프리 시리즈
클린 정밀위치결정테이블TC…E는, 경량・저단면・콤팩트한 정밀위치결정테이블 TE를 베이스로 하여 스텐레스 시트, 사이드 커버로 테이블 내부의 밀폐성을 높힌 구조로 클린도 등급 3에 대응하는 위치결정테이블입니다. 이동기구에 정밀 볼스크류를 채용하여, 고정도의 위치결정이 가능합니다.
또한, 슬라이드 테이블과 일체구조의 직동안내부와 볼스크류의 윤활부품C루브를 내장하여, 장기 메인터넌스 프리를 실현하였습니다.

1. 클린도 등급3에 대응!
내식성에 뛰어난 스텐레스 시트, 사이드 커버로 구동부분과 스텐레스 테이블 안내부를 밀폐.
IKO측정방법에 의한 클린도 평가에 있어서 클린도3을 실현하고 있습니다.
클린도의 측정에 대하여
측정조건   시험장치 개요 약도
항목 내용
측정기구 파티클(미립자)
측정부공기유속 2.5m/s
측정공기량 28.3L(1cf)
측정시간 48h( 10min/회、1회/h)
  측정환경
측정데이터 예 [ 클린도 등급의 상한농도 그래프 ]
TC60E300   TC86E940
2. 경량・저단면・콤팩트한 사이즈!
주요 구성부품에 고강도 알루니늄 합금을 사용한 경량・콤팩트한 위치결정테이블입니다.
직동안내부와 볼스크류의 최적설계로 높이치수는 TC60E로 54mm、TC86E로 67mm의 저단면을 실현.
또한, 각종 센서는 사이드 커버의 센서설치구에 설치된 구조로 되어있어 공간축소화에 적합 합니다.
3. 고정도의 위치결정!
IKO독자적인 직동안내기술과 정밀볼스크류의 조합에 의해, 1랭크 상의 고정도의 결정을 실현하였습니다.
4. 고내식성!
주요구성부품은 알루마이트 처리를 한 고강도 알루미늄 합금과 스텐레스강(스텐레스 시트)를 사용하고 있어,
내식성이 뛰어납니다.
5. 장기 메인터넌스 프리!
직동안내부와 볼스크류에 윤활부품 C루브를 내장하여, 장기 메인터넌스 프리를 실현하고 있습니다.
급유공수의 절감과 함께 기계장치의 신뢰성을 높혔습니다.
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