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정밀위치결정테이블 시리즈

IKO 얼라이먼트 스테이지 SA

IKO 얼라이먼트 스테이지 SA

IKO얼라이먼트스테이지 다이렉트 드라이브형 SA...DE는, 직선운동베어링에 IKO C-루브 리니어웨이 L을 사용하였고, 회전안내부는 IKO 크로스롤러베어링, 구동부는 직접구동방식 시스템을 각각 사용하였습니다. 얼라이먼트스테이지 는 낮은 단면과 콤팩트한 XYθ운동을 실현하였습니다.
고해상도 리니어 엔코더와 풀 클로즈드 루프 (full closed loop) 제어를 조합함으로써, 얼라이먼트스테이지 SA...DE가 백래시 없이 고정도의 위치결정 작동이 가능하게 되었습니다.
반도체나 액정 관련 제조장비와 같이 이미지 처리에 사용되는 정렬장치, 또는 깨끗한 환경이 요구되는 측정장치와 검사기기의 위치결정 기구로 최적입니다.

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일부 제품은 카탈로그에 수록되어 있지 않습니다. 또한, 고객이 원하는 사양으로 변경도 가능합니다. 부담 없이 문의해 주시기 바랍니다.

제품 특징

SA65DE는 IKO 얼라이먼트스테이지 다이렉트 드라이브형 SA...DE용으로, 우수한 가격 대 성능비를 추구합니다.

리니어모터의 X, Y 스핀들에는 0.1 μm와 0.5 μm 해상도의 2가지 종류가 있습니다. 용도에 따라 최적의 선택을 할 수 있습니다.
얼라이먼트스테이지 다이렉트 드라이브 SA...DE는 직선안내부에 리니어웨이 L과 리니어모터를 사용하였으며, 가동테이블을 2축 직교로 조합한 XY축과 회전안내부의 θ축에 크로스롤러베어링과 다이렉트 드라이브모터를 채택하여, XYθ운동이 가능하며 단면이 낮고 콤팩트하다는 특징을 가집니다.
얼라이먼트스테이지 다이렉트 드라이브 SA...DE는 고해상도 리니어 엔코더와 풀 클로즈드 루프 (full closed loop) 제어를 조합함으로써, 백래시 없이 고정도의 위치결정 작동이 가능하게 되었습니다.
또한, 직선 이동용 X축 가동테이블과 회전 위치결정부인 θ축 턴테이블이 표준화되어 있기 때문에, X축과 θ축의 조합이나 XY축의 얼라이먼트 테이블을 간단하게 구축할 수 있습니다.

제품구성

SA65DE/XS Xθ축 사양 SA65DE/X X축 사양 SA65DE/XYS XYθ축 사양


SA120DE/XY SA120DE/S SA200DE/S
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